ICP等离子体在工业上的另一个主要应用是等离子体干法刻蚀，江西在线式等离子玻璃清洗机尤其是反应离子刻蚀(RIE)ICP等离子体干法刻蚀可以克服湿法刻蚀的严重钻孔效应和各向同性，具有选择性、各向异性等特点ICP等离子体还广泛应用于辅助磁控溅射和电子束蒸发过程中，作为离子源改善反应条件，降低反应温度。等
