ITO的导带主要由In和Sn的5s轨道组成，江苏真空等离子喷涂设备供货商而价带则是氧的2p轨道占主导地位，氧空位及Sn取代掺杂原子构成施主能级并影响导带中的载流子浓度，ITO由于沉积过程中在薄膜中产生氧空位和Sn掺杂取代而形成高度简并的n型半导体，其费米能级Er位于导带底Ec之上，从而具有很高的载流
