等离子体清洗机和等离子体表面处理器的相变存储器下电极接触孔的蚀刻过程:在相变存储器的存储单元中加热器和贯穿;下电极接触的大小对器件性能至关重要。更小的尺寸意味着更高的电流密度，氮化硅薄膜亲水性更高的加热效率，更小的相变材料面积在较低的电极接触。以GST为相变材料的叶片形氮化硅电极接触的结构和过程，可
