超声波等离子体产生的反应是物理反应，氩气等离子蚀刻机高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。射频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用，因为超声波等离子清洗对待清洗表面的影响最大。超声波等离子对表面脱胶和毛刺研磨最有效。典型的等离子物理清
