在这些气体中，氩气等离子体表面处理机惰性气体如氢气、氮气和氩气是非反应性等离子体，而氨气和氧气等离子体是反应性的。所谓非反应型，是指等离子体中的自由基和离子不与材料表面发生化学反应，只起激发自由能的作用。材料必须与空气接触。关于表面化学结构的变化。反应性是指等离子体中的自由基或离子直接与材料表面相互
