效果仅限于几个分子层的深层区域，氩气等离子体表面清洗设备并且基板的整体特性不会改变。根据表面产生的变化取决于表面成分和使用的气体。用于处理聚合物等离子体的气体或气体混合物包括氮气、氩气、氧气、一氧化二氮、甲烷、氨气和其他物质。每种气体都会产生与其固有的等离子体成分不同的表面特性。表面能可以快速有效地
