例如，氩气刻蚀硅的电离方程式浮油和注塑添加剂等有机物形成均匀清洁和反应性聚合物表面。交联是在聚合物分子链之间建立化学连接。惰性气体等离子体可用于交联聚合物，以形成更坚固的表面，耐磨损和化学侵蚀。医疗导管、临床设备和隐形眼镜等医疗设备都受益于等离子体诱导的交联反应。这种化学反应还可以用氟或氧原子取代聚
