(3)放电功率：提高放电功率可以增加等离子体的密度和活性粒子的能量，氧等离子体除胶设备从而提高清洗效果。例如，氧等离子体的密度受放电功率的影响很大。 (4)暴露时间：待清洗材料在等离子体中的暴露时间对其表面清洗效果和等离子体工作效率影响很大。曝光时间越长，清洗效果越高，但工作效率越低。此外，长时间清
