同时，氧等离子体轰击玻璃高活性氧离子可以在键断裂后与分子链发生化学反应，形成活性基团的亲水表面，达到表面活化的目的。键断裂后，有机污染物元素与高活性氧离子相互作用，发生化学反应，形成CO、CO2、H2O等分子结构，从表面分离出来，起到表面清洁作用。氧气主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，
