此外，氧清洗还可以使用逆氧和氩氧清洗程序，其特点是易于氧化和还原。 1、氩气：氩气清洗的原理是物理冲击表面。氩气因其较大的原子尺寸和以高能量穿透产品表层的能力而具有物理效果。正氩离子被吸引到负极板，并且冲击力去除表面上的所有污垢并泵出气态污染物。 2、氧气：与产品表面的化学物质发生有机化学反应。例如
