(2)工作气体的类型对等离子清洗机的清洗类型也有一定的影响。例如惰性气体Ar2、N2等激发等离子体主要用于物理清洗，亲水性疏水性英文通过脱壳的方式使数据表面进行清洗。活性气体O2、H2等激发等离子体主要用于等离子体清洗机的化学清洗，与活性自由基和污染物、二氧化碳、水等小分子发生化学反应，(3)等离子
