同时分析了引线框架在材料箱内的放置位置对等离子体清洗效果的影响。引线框架放置在等离子体气体浓度高的位置,氟材料等离子体蚀刻机清洗效果更好。引线张力值可以获得较低的方差和较好的过程控制能力。1序言等离子体清洗技术广泛应用于电子、生物医药、珠宝制造、纺织等许多行业。由于每个行业的特殊性,需要根据行业需要