首要接上电源，检测项目附着力发动真空泵，观察真空泵的旋转方向是顺时针方向(检测后，封闭电源); 发动真空泵，在真空泵和等离子清洗机封接上的前提下，然后将反应舱盖盖上，让真空泵旋转5分钟左右。 这时真空泵正在抽真空舱内的空气(此刻等离子清洗机已封闭);大约5分钟后，等离子舱将慢慢地发生亮光，把真空
