一般放气需要几分钟。。等离子体设备中射频水平电极电容耦合放电的工作原理；根据电源的选择，极耳plasma除胶机一般有中频和射频两种。由于放电形式的不同，在射频等离子体设备中还存在射频电容耦合和电感耦合放电两种类型。我们将介绍射频和水平电极的兼容耦合放电形式和基本原理。1.什么是RF：射频是指等离子体
