氩和氦的特性稳定，材料附着力标准放电电压低（氩原子的电离能E为15.57 eV），易形成半稳定原子的物体Ar+与污物碰撞后被放电形成挥发性污点 真空泵一方面避免了表面材料的反应，另一方面，氩气的使用往往会形成可变稳定性原子，与氧和氦分子的碰撞导致电荷转换和再生增加。作用于物体表面的活性氧和氢原子。等
