2015年，材料表面三维改性Hess在乔治亚理工学院的团队报告了在等离子表面处理器上使用气体等离子体蚀刻机在低温下蚀刻金属铜、金和银材料。传统的金属铜蚀刻是利用Cl2气体等离子体在高温下与之反应生成CuCl2，在后续工艺中被清除。Hess课题组报道，采用H2气体等离子体在低温(10℃)条件下，在IC
