等离子表面处理机的脱胶工艺是微细加工中的一个重要环节。经过电子束曝光和紫外线曝光等微纳米处理后，曝光显影蚀刻工艺分别字母必须对光刻胶进行脱胶或涂底漆。摆脱光刻粘合剂的清洁度是否会损坏样品，直接影响后续工序的顺利实施。等离子清洗机是利用低温等离子的特性对被处理材料进行等离子表面处理的设备。一般经过等离
