因此，晶圆等离子表面处理机防止密封过程中气泡的形成也是一个值得关注的问题。射频等离子清洗后，晶圆与衬底更紧密地结合在一起，气泡的形成将大大减少，散热和光输出显著提升。清洗机用于金属表面除油清洗。PDMS等离子体吸尘器的关键粘接技术；鉴于半导体技术的飞速发展，晶圆等离子表面处理对生产工艺提出了更高的标
