等离子清洗机的真空室是维持真空泵内部状态的容器。等离子清洗机真实内室的质量是决定其质量特性好坏的条件之一。无论是涂料还是表面产品都需要在型腔内进行一系列操作，晶圆清洗机工作原理型腔的设计需要考虑到体积、所用原料、以及所用不同设备的形状。有些等离子清洗机是专为半导体清洗而设计的，这样在半导体材料的应用
