因此，晶圆去胶原理等离子清洗机的腔体首先必须是铝，而不是不锈钢；晶圆支架的滑动部分应采用不易产生灰尘和被等离子体腐蚀的材料；电极和支架易于拆卸和维护。1-2：等离子体清洁器反应室内的电极间距、层数和气路分布对晶圆加工的均匀性影响较大，这些指标需要通过不断的实验来优化。1-3：在等离子体清洗晶圆的过程
