等离子处理是指非聚合物气体（HE、AR等非反应性气体和O2、CO2、NH3等反应性气体）在材料表面发生等离子物理或化学作用的过程。等离子体中的自由基、电子等高能粒子与材料表面的相互作用，外延片等离子刻蚀机器通过刻蚀和沉积发生分解和交联反应，在表面产生极性基团、自由基等活性基团增加。可以对材料进行亲水
