真空等离子体装置的振动可以激发更多的电子和空穴：真空等离子体装置的振动可以激发更多的电子和空穴：与普通晶片光催化剂相比，晶圆刻蚀机器因此，一般认为真空等离子体装置的光催化剂有两个因素.小土耳其屏障和部分表面等离子体振动（LSPR）。前者主要有利于电荷分离和转移，而后者有助于吸收可见光和激发活性电荷载
