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晶圆刻蚀工艺(晶圆刻蚀设备的国内外主流供应商有哪些)

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因此,晶圆刻蚀工艺生长晶体的取向由晶种决定,晶种被拉出并冷却后,生长为与晶种具有相同晶格方向的单晶硅棒。通过直拉法生长后,将单晶棒切割成合适的尺寸,然后抛光去除凹凸切割,然后使用化学机械抛光工艺将至少一侧镜面光滑。晶圆生产完成。单晶硅棒的直径是由晶种的速度和旋转速度决定的。一般来说,上拉速度越慢,生