在集成电路工艺生产过程中，无锡真空等离子清洗机价格晶圆集成ic表面会存有各类颗粒、金属离子、有机物及残余等脏污杂物，为规避污染源对集成ic处理性能造成严重影响及缺陷，在保证不破坏集成ic处理及其他表面特性的前提下，半导体晶圆在制造的过程中，须要经过多次的表面清洗步骤，而等离子清洗机是晶圆光刻胶的理想
