等离子清洁剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，表面改性课程以达到清洁等目的。等离子体清洁器产生的等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子表面处理设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。 ..等离子清洗机在微电子
