这里特别强调的一个方面是空气类型为气体混合物充气的目的主要是为了增强活动和侵入。在真空环境中填充混合气体的目的是为了提高蚀刻工艺的效率，提高达因值的快捷方法去除污染物，去除有机化合物，增加侵入性。显然，混合气体的选择标准更广，等离子清洗机的加工技术也更常用！ 3.环境温度这是很重要的一点。采用电声设
