9.3.8 检查室门垫片 室门垫片对于保持良好的真空室至关重要警告：有燃烧的危险！警告：腔室垫圈会导致系统出现真空泄漏。检查密封面内部和外部密封条是否有裂纹或碎屑时。请及时更换。这种垫片的平均寿命为 8-12 个月。检查腔室垫圈并执行以下步骤： 1 小心地从反应室中取出垫圈。 2 将两侧拉开以查看裂
