(1)对材料表面腐蚀的影响——物理effectA大量的离子,兴奋的分子,自由基等活性粒子在等离子体作用于固体样品的表面,不仅消除了原始表面污染物和杂质,同时也产生蚀刻效果，手机盖板等离子体蚀刻使样品表面粗化，形成许多细小的凹坑，并增加了样品的比表面。(2)激活键能和交联等离子体中粒子的能量为0~20
