2、有（有机）物质和（有机）物质的杂质有多种来源，皮肤附着力 表面活性剂例如人体皮肤油、细菌、机油、真空油脂、光刻胶、清洁溶剂等。此类污染物通常会在晶圆表面形成（有机）薄膜，以防止清洗液到达晶圆表面，从而导致晶圆表面清洗不彻底，从而造成金属杂质等污染物。它是。清洁后。这些污染物的去除通常在清洁过程的
