由于是真空紫外线，影响聚氨酯附着力的因素对蚀刻速率有非常积极的影响；2)气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子的温度在102～103K之间，对应的电子能量温度高达105K，因此被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”。但是，它们是电中性的（准中性）。 & EMSP; & EMSP; 3) 气
