等离子体清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，附着力最好的色釉从而达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。其工作原理是利用交流电场将工艺气体变成等离子体，附着力最好的色釉与有机物和颗粒污染物发生反应或碰撞形成挥发物，这些挥发物是工作气流，并通过真空泵将其去除。 , 让工件到达表面进行清洗和活
