清洗后的玻璃基板在进入真空室镀膜前，平板显示器plasma清洁环境中的灰尘和气体分子仍可能造成污染。为了获得&ldquo；实时&rdquo；清洗表面，最好的方法是进行在线等离子清洗。常规的等离子体清洗装置在真空室内配备一对平板放电电极或数千个放电电极。这些器件的致命缺点是不仅放电清洗不均匀，而且容易
