其基本原理是在电场加速时产生高能电子。由于平均电子能量高于目标加工材料的分子化学键能，平均亲水性英文分子键被破坏，蒸汽污染物被去除。等离子蚀刻机的优点如下。 1.在需要粘合之前进行清洁以改变表面张力。反应气体O2/H2/N2/Ar利用微波等离子源等离子化，离子等化学成分与表面的有机污染物发生反应，产
