这不仅去除了原有的污染物，干法刻蚀工艺考核还会在表面留下杂质，还会造成干法蚀刻。效果是它不会使样品表面光滑，它会产生许多细小凹坑并扩大样品的一定表面积。提高固体表面层的附着力。 2）PLASMA与冷等离子体激发结合能和交联作用，粒子能量为0-20EV，大多数聚合物可以达到0-10EV，所以冷等离子体
