等离子体作用于材料表面使其产生一系列的物理、化学变化,利用其中所包含的活性粒子和高能射线,与表面有机污染物分子发生反应、碰撞形成小分子挥发性物质,从表面移除,实现清洁效果。 1）对材料表面的刻蚀作用–物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，有机硅对层间附着力的影响作用到固体样
