微电子等离子清洗机设备加工应用微电子等离子清洗机设备加工应用：微电子技术的发展集信息、通讯、娱乐于一体。等离子技术使微电子设备的原子级工艺制造和小型化成为可能。等离子技术在 1990 年代进入微电子器件制造领域。下面将介绍等离子清洗设备在核心加工（例如蚀刻、沉积、掺杂）中的应用。从 1970 年代末
