一种用小型等离子清洗/蚀刻机产生等离子的装置是在密闭容器中设置两个电极，小型真空等离子清洗机品牌形成电场，实现一定的真空度。自由运动距离越来越长，由于电场的作用，发生碰撞，形成等离子体，发生辉光放电。辉光放电时的气体压力、放电功率、气体成分、流量、材料种类等对材料的刻蚀效果影响很大。由于等离子体产生
