等离子体定义所谓等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成，是物质的第四态。人们普遍认为的物质有三态：固态、液态、气态。区分这3种状态是靠物质中所含能量的多少。给气态物质更多的能量，比如加热，将会形成等离子体。射频等离子清洗原理射频等离子清洗设备
激发态离子碰撞前走过的距离称为离子平均自由距离，射频等离子清洗原理与仓压成反比。物理等离子体清洗要求低压，以便最大限度地提高平均自由距离和最大限度地提高冲击轰击。但如果压降太大，在有效时间内就没有足够的活性离子清洗工件。化学等离子体清洗工艺产生的等离子体与工件表面发生反应，因此离子越多，清洗能力越能