如果单向阀坏了，密封条等离子去胶机器就会失效，那么真空等离子处理系统的抽真空能力就会降低。五、各级旋转膜的检查这种检查主要是检查各级真空泵的转盘是否有磨损和损坏，如磨损和损坏严重，会导致转盘的匹配间隙变大，影响抽气量。六个如果真空泵腔密封圈损坏，很容易造成漏油，影响抽气速度。七、止回阀检查如果等离子
