例如，宝山防腐涂料附着力检测氧等离子体具有很高的氧化性能，可以氧化光刻胶产生蒸汽，因此具有清洗作用。腐蚀性气体等离子体具有良好的各向异性，可以满足腐蚀的需要。在等离子清洗机工艺中，称为辉光放电加工。等离子清洗机主要依靠（活化）等离子中的活性粒子来去除物体表面的污垢。等离子清洗机无需箱体，宝山防腐涂料
