氧化物涂层的蒸发源有电阻式和电子束两种，安徽常压大气在线等离子设备原理电阻式蒸发源利用电阻传导。采用过热原理加热原料进行蒸发，加热温度高可达1700℃。电子束沉积源使用加速电子与气相沉积材料碰撞并沉积。沉积源配备电子枪，利用磁场或电场加速并收集电子束，使电子束集中在蒸发材料的局部位置，形成加热束斑。
