7 液晶显示器生产中的清洗在液晶清洗中的干式清洗, 使用的活化气体是氧的等离子体, 它能除去油性污垢和脏物粒子, 因为氧等离子体可将有机物氧化, 形成气体排出。它的唯一问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置清洗工艺如下:研磨—吹气—氧等离子体—除静电通过干式洗净工艺后的电极端子与显示器, 增强了偏