等离子体中的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核素、光子等，天津宽幅等离子清洗机原理等离子体清洗机就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、改性、涂布、光刻胶灰化等目的。等离子表面处理机清洗原理：通过化学或物理作用对工件表面进行处理，实现分子水平的污
