例如，大气等离子镀膜设备电子与电子的碰撞达到热力学平衡，并有一个特定的温度，称为电子温度。在一定温度Ti下，离子-离子碰撞能达到热力学平衡，称为离子温度。然而，由于电子和离子之间的质量差异，可能会发生碰撞，但可能不会达到平衡，所以Te和Ti不一定是相同的。如果放电发生在接近大气压的高压环境中，电子、
