二、等离子刻蚀在等离子体蚀刻过程中，大庆大型真空清洗机定制被蚀刻的材料在工艺气体的作用下变成气相（例如，当硅用氟气蚀刻时，如下所示）。用真空泵将处理气体和基体材料抽出，外表面依次覆盖新鲜处理气体。不想要的蚀刻部分要用数据覆盖（例如半导体工业用铬作为覆盖数据）。等离子体方法也被用来蚀刻塑料的表面。氧气
