保形层粘附的其他挑战包括污染物，外延片plasma刻蚀如释放化合物和残余通量。等离子体处理是清洗电路板的有效方法。等离子体处理可以在不损伤基底的情况下去除污染物。能够提供单级等离子体处理--包括刻蚀回片和擦除--的等离子体处理系统，在柔性电子PCB和基板的制作过程中，每周期最多可达30个面板（面板规
