子绝缘处理和半导体器件中 等离子体表面处理仪的应用:一、绝缘处理— 等离子体表面处理仪润饰硅胶表层，增强pet附着力增强了材料的兼容性等离子体表面处理仪设备作业时，电荷首先在半导体与绝缘接触面上积累和传递，为了保证栅电极与有机化学半导体之间的栅极漏电流较小，要求绝缘数据有较高的电阻，也就是要求绝缘性
