轰击材料表面的离子能量是材料表面改性的一个主要工艺参数，增加涂层层间附着力的措施这个能量可以轻易地增加到小分子及固体原子结合能的数千倍。正是低温等离子体的这种非热力学平衡现象，带来了等离子体处理技术的多样性，这种多样性可以从高分子材料的表面活化一直到半导体离子注入等一系列应用中看出。等离子体处理技术
