等离子体状态和参数可由麦克斯韦热力学平衡速度分布、玻尔兹曼粒子能量分布和沙哈方程确定。高能等离子体主要用于材料合成、球化、致密化和涂层保护。对于低温等离子体清洗机来说，增加涂层对镍 的附着力重粒子只有室温，电子温度可达上千度，远离热力学平衡。例如，辉光放电属于低温等离子体。低温等离子体主要用于等离子
