较小的几百瓦的就是常用的等离子电源。也有40KHz中频电源，塑胶等离子蚀刻机器与射频电源正好相反，但等离子体密度不是。它很高，但它很强壮，能量很高，而且高度很高。功率也很高，大功率几十千瓦，理论上几百千瓦，一般在使用中频电源时，如果需要加水冷、等离子、蚀刻、真空等离子清洗机，也是常用的一种使用等离子
